SIRION场发射扫描电镜出现故障已有较长一段时间了，大家都很关心，现作简单说明。电镜的主要问题是图像质量差、聚集不清晰、离子泵的真空度偏低。维修工程师已多次来进行维修和调试，其间主要工作是更换了相关线路板、更换了活动光栏、更换了物镜极靴内的偏转线圈、做了镜筒的拆洗、烘烤、更换了上下离子泵的密封圈和传感器的密封圈等。但到目前为止电镜状态没有得到改善。现已紧急调配新灯丝，等新灯丝到后再进行调试。
该电镜从2003年到现状已使用了近15年，元器件已老化。此次故障情况复杂、问题棘手、时间跨度长，给各位师生带来不便，敬请谅解。
分析测试中心
2018.10.10